扫描电子显微镜

商品说明

扫描电子显微镜 (SEM) 不仅是开展科研工作所必不可少的工具，对于需要品控的制造工厂也是不可或缺的。在这些场景中，用户需要重复执行相同的观察操作，因此快速完成这些操作有助于提高工作效率。 JSM-IT510 新增的“简单 SEM”功能，用户可将 SEM 观察所需的“手动重复操作交给它”，从而更高效、更轻松地完成 SEM 观察。

此系列有下面4种配置

BU（基本单元）	基本类型，高真空条件下观察
A（分析型）	分析型，标配EDS能谱
LV（低真空型）	低真空型，适用于高、低真空操作，配置BED
LA（低真空分析型）	低真空分析型，适用于高、低真空操作，配置BED和EDS

SEM规格

分辨率	高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED）
放大倍数	x5 至 x300，000
电子枪	钨灯丝，全自动电子枪调准
加速电压	0.3kV~ 30kV
探针电流	1pA~1uA
LV压力调节	10~650Pa
物镜光阑	4档，带XY微调功能
自动功能	灯丝饱和点调整、电子枪合轴调整、电子束对中调整、聚焦/散光/亮度/衬度调整
最大样品尺寸	200mm直径 x 75mm高
样品台	大型全对中样品台 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 倾斜：-10~90^o 旋转：360^o
图像模式	二次电子像、REF像、成分像、形貌像、阴影像
图像尺寸	640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840
照片辅助功能	蒙太奇、简单SEM、Zeromag、实时3D
操作支持功能	菜单（标准菜单/自定义菜单），测量、样品交换导航、信号深度功能、3D测量*
操作系统	Win10 64位
显示器	23.8英寸触控面板
语言切换	日语、英语、中文（可在用户界面上操作）
真空系统	全自动、TMP、RP

主要可选项

1. 背散射电子探测器BED

2. 低真空混合二次电子探测器LHSED

3. 低真空二次电子检测器LVSED

4. 能谱仪EDS

5. 波谱仪WDS

6. 电子背散射衍射图样EBSD

7. 真空预抽室LLC

8. 样品台导航系统SNS

9. 大区域样品台导航系统SNSLS

10. 样品室相机CS

11. 操作面板OP2

12. LaB₆电子枪

13. 3D分析软件SVM

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