流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 .5% F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

线性

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

重复精度

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

响应时间

电特性: 10 sec
气特性: ≤ 4 sec

≤10 sec

电特性: 10 sec
气特性: ≤ 4 sec

大工作压力

10 MPa

-

1 MPa

气压降

-

＜ 0.02 MPa

-

工作压差范围

≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa
＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa

-

≤10SLM (0.1 ~ 0.5) MPa
＞10SLM (0.1 ~ 0.3) MPa

耐压

10 MPa

10 MPa

3 MPa

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

电源

+15 V  50 mA
-15V  200 mA

+15 V  50 mA
-15 V  50 mA

+15 V  50 mA
-15V  200 mA

重量

1.2kg

1 kg

1.2kg